薄膜制备平台包括CVD、PVD、以及热喷涂等工艺制备薄膜所需要的设备；建成薄膜的结构和性能表征平台，已购置设备114台（套），金额581万元。该平台的建设将与俄罗斯和韩国等国先进研究单位合作，共同研制设备，满足科研的需求。